在长时间使用罗茨真空机组后，设备难免会出现一些故障，这就需要我们在检查的时候看好轴承、油封、机封、皮带等是否损坏，若损坏需及时替换，并做好罗茨泵的装置工作。

　　拆开罗茨真空机组的三角皮带，拆开泵进出口管道和伴热蒸汽管线、氮气管线；拆开地脚螺栓，把真空泵移到检修平台。打开泵顶部各级盖板，用塞尺从上盖板处插人丈量转子和各级隔板的前后空隙，做好记载。

　　在真空泵上部的整个平面方位用记号笔，做好明显标记以免恢复时犯错；标记清楚自动转子和从动转子的前后方位。拆开罗茨真空机组的泵体衔接螺栓，逐级从尾端拆开，同时丈量和记载各级隔板之间的纸垫厚度。
　　用酒精清洗洁净真空泵各部件，结垢的部分可用纱纸清理。转子墙板和隔板拉毛的部分用锉刀修补平整，抛光机打磨光亮。
　　装置锁紧有键槽的同步齿轮，有圆锥的同步齿轮先用手轻轻压紧即可。装置前后轴承箱后盖板及油封、机械密封，装置后端冷却水箱，装置皮带轮。
　　罗茨真空机组装置回原设备基础，紧固地脚螺栓，调整三角皮带松紧度，恢复进出口管道衔接。加润滑油，检查密封状况，预备试车。